V 系列产品
按工况选择适合的系列
标准型系列
通用气体测量与控制。适用面最广的基础系列。
| 流量计 | 控制器 | |
|---|---|---|
| 量程 | 0.5 SCCM – 5000 SLPM | 0.5 SCCM – 500 SLPM |
| 精度 10 SCCM – 20 SLPM | ±max(0.6%RD, 0.1%FS) | |
| 气体种类 | 124 种查看列表 → | |
| 工作压力 | 0–1.0 MPaG | |
高精度系列
计量、研发与高要求配比。全量程分档精度均高于标准型。
| 流量计 | 控制器 | |
|---|---|---|
| 量程 | 0.5 SCCM – 5000 SLPM | 0.5 SCCM – 500 SLPM |
| 精度 10 SCCM – 20 SLPM | ±max(0.5%RD, 0.1%FS) | |
| 气体种类 | 124 种查看列表 → | |
| 工作压力 | 0–1.0 MPaG | |
低压损系列
压损敏感的气路。兼顾低压损与耐压性能。
| 流量计 | 控制器 | |
|---|---|---|
| 量程 | 0.5 SCCM – 500 SLPM | 0.5 SCCM – 50 SLPM |
| 精度 10 SCCM – 25 SLPM | ±max(0.6%RD, 0.1%FS) | |
| 气体种类 | 124 种查看列表 → | |
| 工作压力 | 0–0.5 MPaG（可扩展至 0–1 MPaG） | |
耐腐蚀系列
腐蚀性气体。接气材料 316L 不锈钢与 FFKM。
| 流量计 | 控制器 | |
|---|---|---|
| 量程 | 0.5 SCCM – 5000 SLPM | 0.5 SCCM – 500 SLPM |
| 精度 10 SCCM – 20 SLPM | ±max(0.6%RD, 0.1%FS) | |
| 气体种类 | 137 种查看列表 → | |
| 工作压力 | 0–1.0 MPaG | |
压力控制器
单阀用于正压或背压控制；双阀可升压、可降压，适用于密闭容积。
| 量程 | 1 MPaG（常备） |
|---|---|
| 测量精度 | ±0.25%FS |
| 控制范围 | 0.01–100%FS |
| 控制响应时间 | <100 ms（T63） |
流量精度：以上指标是在流量清零后，且温度、压力和湿度平衡的条件下测得。 完整参数与适用条件见系列详情及规格书。
专利与认证
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专利5
合规与检测4
计量校准3
拖动旋转，看清每个细节
VSC02 流量控制器，按实物尺寸建模渲染。
告诉我们气体、流量和压力
工程师给出完整型号，并附上对应的规格书。
0755-23097806
